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Equipment

Herstellung

Reinraum der Klasse 100 im TGZ mit kompletter Siliziumtechnologie
(Lithographie, Beschichtung, Oxidation, ICP-Ätzen, ALD)

Templatprozesse

• Elektrochemisches Ätzen von Silizium und Aluminiumoxidmembranen
• Kolloidkristalle (Polymer, SiO₂)
• Polymer und Metallnanostrukturen und Polymerkomposite durch Replikation von porösen Templaten

Simulation

• Comsol FEM,
• FD-TD (diverse)
• JCM Wave
• Arivis / Avizo

Physikalische Charakterisierung

• REM - FEI Quanta 3D ESEM mit großer Kammer
• FIB - FEI versa3D
• XRM - ZEISS xradia ultra 810
• µ-PCD - Freiberg Instruments MDPspot
• AFM

Nutzungsanfragen bitte über Bethge-Centrum BCMC stellen.

optische Charakterisierung (statisch)

• FTIR - Bruker IFS 66/S mit Hyperion Mikroskop
• Optisches Goniometer mit Monochromator - Horiba iHR550
• opt. Mikroskop - Olympus BX51 (bis 1000x)
• Raman Spektroskop - Horiba Labram HR Evolution mit Mikroskop und AFM
• Fluorolog von Horiba

Nutzungsanfragen bitte über Bethge-Centrum BCMC stellen.

sonstiges

• Rohrofen - Carbolite mit Quarzrohr (bis 1200 °C)
• Rohrofen - Carbolite mit AlOx-Rohr (bis 1500 °C)
• Sputterer - Cressington 108auto
• Poliermaschine - Logitech CL50
• Drahtsäge - Well

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